А. С. Притчин

А. С. Притчин

Усовершенствование математической  модели распределения легирующей примеси в процессе выращивания слитков кремния

Електромеханічні та енергетичні системи, методи моделювання та оптимізації. Збірник наукових праць XІІІ Міжнародної науково-технічної конференції молодих учених і спеціалістів у місті Кременчук
08–09 квітня 2015. – Кременчук: КрНУ, 2015. – С. 136–137.

В работе выполнен анализ внедрения легирующей примеси в слиток при изменяющейся со временем скорости роста слитка. Усовершенствована модель легирования слитка кремния. Получено  уточненное аналитическое выражение для расчета легирующего профиля, которое может использоваться по диапазону типичных параметров роста слитка диаметром 150 – 300 мм.